工業硅及硅鐵在高溫熔煉的過程中，隨廢氣逸出的粉塵稱為硅灰或硅粉，其主要成份是SiO2，煙氣中的SiO2含量約占煙塵總量的94%,C、MgO、CaO、Fe2O3的含量分別約占煙塵總量的3.5%、0.076%、0.33%、0.08%。其顆粒度非常小，平均粒徑約為0.3µm，故有微硅粉之稱，它能直接通過呼吸進入人體肺泡，對人體健康危害大。我國目前擁有上千座硅鐵及工業硅電爐，在生產過程中，年產生的微硅粉約為25萬噸。已上環保設備能捕集到的約5萬噸，其余基本直接排入大氣。目前微硅粉沒有確切的定價標準，每噸價格為1500?3000元，如果每噸價格按2000元計算，全年直排的微硅粉作為資源利用損失的價值約2億元。
某硅業有限公司有兩臺6300KVA工業硅礦熱爐，年生產優質工業硅6000噸，年產生微硅粉2500噸。但由于煙氣除塵凈化設備不達標，大量微硅粉隨煙氣排出，既污染了環境，也是資源的浪費。所以煙氣治理勢在必行。回收捕集微硅粉不但是一個環境效益和社會效益的問題，而且也包含著很大的經濟效益和合理技術的價值。
下面就微硅粉的回收捕集及應用進行探討：
一、微硅粉回收捕集裝置的選擇
　　
由于微硅粉的顆粒度太細小，機械力除塵器，包括沉降除塵、慣性除塵及旋風除塵，根本捕集不到它。水膜除塵捕集它也很困難。又因為它的比電阻特別高，若采用常規電除塵裝置，將產生反電暈現象，也難于捕集它。若采用國際電除塵裝置---脈沖電除塵器，從其性能上講，能夠捕集高比電阻粉塵，但其設備投資為昂貴，約為常規電除塵器的10倍。目前國內捕集微硅粉的裝置大部分用“大”布袋除塵器，它之所以在布袋除塵器前頭冠一“大”字，就是由于這種粉塵特性決定的。如果用捕集一般粉塵的布袋除塵器的經驗直接用來捕集微硅粉，可能達不到預期效果。目前美國、前蘇聯、挪威等我國也都采用大布袋捕集微硅粉。其優點是除塵效率高，性能穩定可靠，操作簡單。但此法也存在一些問題：
（1）工業硅在熔煉過程中，廢氣溫度很高，可達400--600℃,所以安裝降溫裝置，否則將燒毀布袋。
（2）由于微硅粉顆粒很細，粘性很大，不容易振打清灰，并容易破袋、掉袋，影響正常生產。如何結合煙氣溫度高和顆粒度微細且粘的特點來回收微硅粉是選用“大”布袋除塵器必需考慮的問題。
某硅業有限公司采用大布袋除塵法，采用大布袋反吹風除塵系統對兩臺6300KVA工業硅礦熱爐進行了改造。
　　
主要工藝過程為：溫度高達400--600℃高溫煙氣由電爐經集氣罩進入煙管，經冷卻及冷風混合后溫度將至230℃以下，進入預處理器進行大顆粒分離，分離后的煙氣經風機進入除塵裝置，經除塵裝置過濾后煙氣排放，粉塵裝袋回收。
　　
大布袋除塵裝置：無堿玻璃纖維過濾布袋的過濾面積為4000㎡，規格為Φ300mmX10m，濾袋數量528條，處理風量150000Ndm³/h，過濾風速0.5m/min，主引風機為315kw/h，清灰風機45kw/h，處理后煙氣粉塵排放量不大過60mg/Ndm³，回收SiO2粉塵含量可達94%，煙氣粉塵達標排放。
　　
兩臺除塵系統投資390萬元,年運行費用約需要202.3萬元左右。年回收微硅粉可達2400噸，每噸銷價2000元，年收入480萬元，收支相抵年盈余277.7萬元，投資利潤率71.2%，投資償還年限為2年，經濟效益十分可觀。